解決“卡脖子”問題！新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設(shè)備試產(chǎn)成功
由西安理工大學(xué)和西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司共同研制的國內(nèi)首臺新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設(shè)備日前在西安實現(xiàn)一次試產(chǎn)成功。據(jù)悉，大尺寸半導(dǎo)體硅單晶材料是制約我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”問題。在該領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，對滿足我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大。
2018年起，西安理工大學(xué)劉丁教授團隊與西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司緊密協(xié)作，開展技術(shù)攻關(guān)，成功研制出直徑300毫米、長度2100毫米的高品質(zhì)硅單晶材料。實現(xiàn)了采用自主研發(fā)國產(chǎn)裝備拉制成功大尺寸、高品質(zhì)集成電路級硅單晶材料的突破。(張毅)
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